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共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 擴(kuò)展功能

產(chǎn)品簡介

共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 擴(kuò)展功能
基礎(chǔ)的S lynx2系統(tǒng)已經(jīng)提供了共聚焦和白光干涉兩種核心測量模式。為了應(yīng)對更廣泛或更特殊的測量需求,該平臺通常支持一些擴(kuò)展功能和配件,以增強(qiáng)其應(yīng)用能力。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2026-02-02
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:61
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共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 擴(kuò)展功能

基礎(chǔ)的S lynx2系統(tǒng)已經(jīng)提供了共聚焦和白光干涉兩種核心測量模式。為了應(yīng)對更廣泛或更特殊的測量需求,該平臺通常支持一些擴(kuò)展功能和配件,以增強(qiáng)其應(yīng)用能力。
1. 大范圍掃描與圖像拼接:
標(biāo)準(zhǔn)物鏡的單次掃描視場是有限的。對于需要測量超出單視場范圍的大面積樣品(如大尺寸光學(xué)元件、平板顯示器局部、機(jī)械密封面等),可以使用軟件的大范圍掃描和圖像拼接功能。
  • 工作原理:通過高精度的電動載物臺,控制樣品在X和Y方向規(guī)則移動,按網(wǎng)格順序依次測量多個相鄰區(qū)域。軟件隨后自動將這些區(qū)域的測量數(shù)據(jù),根據(jù)重疊區(qū)域的特征進(jìn)行識別和對齊,拼接成一幅完整、無縫的大尺寸三維形貌圖。


  • 應(yīng)用價值:可以在保持高分辨率的同時,評估大面積區(qū)域的整體平整度、粗糙度分布、缺陷的宏觀分布等,而不會遺漏跨視場的特征。


2. 高速掃描模式:
對于需要快速進(jìn)行大量樣品檢測或在線監(jiān)控的應(yīng)用,某些配置或模式可能提供更高的掃描速度。
  • 實現(xiàn)方式:可能通過優(yōu)化掃描算法、使用更高速的相機(jī)或特定的掃描策略來實現(xiàn)。


  • 應(yīng)用價值:提高產(chǎn)線上抽樣檢測的吞吐量,或用于監(jiān)測動態(tài)過程(如某些快速變化的表面)的靜態(tài)快照。


3. 高動態(tài)范圍(HDR)干涉測量:
當(dāng)樣品表面同時存在高反射率區(qū)域(如金屬)和低反射率區(qū)域(如深色材料)時,標(biāo)準(zhǔn)白光干涉模式可能難以同時獲得良好的信號。高動態(tài)范圍技術(shù)通過組合不同曝光時間下采集的多幅干涉圖,擴(kuò)展探測器的有效動態(tài)范圍。
  • 應(yīng)用價值:能夠?qū)Ψ瓷渎蕦Ρ葟?qiáng)烈的表面(如芯片上的金屬線和介質(zhì)層)進(jìn)行一次性測量,無需分別調(diào)整參數(shù),簡化了操作并提高了效率。


4. 膜厚測量模式:
對于透明或半透明薄膜(如氧化物薄膜、光刻膠、涂層),標(biāo)準(zhǔn)的形貌測量通常只能得到上表面形貌。專用的薄膜厚度測量模式,利用白光干涉的垂直掃描干涉原理,分析從薄膜上表面和下表面反射光產(chǎn)生的干涉信號,可以非接觸地測量薄膜厚度。
  • 應(yīng)用價值:適用于半導(dǎo)體、顯示、光學(xué)鍍膜等行業(yè),測量單層或多層透明薄膜的厚度及其均勻性。但需要注意,該方法通常需要薄膜有足夠的透明度和上下界面有一定的反射率,且對底層材料的反射特性有要求。


5. 電動傾斜臺:
標(biāo)準(zhǔn)測量要求樣品表面大致垂直于光軸。對于具有固定傾角或需要測量特定傾斜面的樣品,可以配備電動傾斜樣品臺。該樣品臺可以精確地傾斜和旋轉(zhuǎn)樣品,將待測面調(diào)整到適合測量的方向。
  • 應(yīng)用價值:方便測量斜面、側(cè)壁、鉆頭螺旋槽等非水平表面,擴(kuò)展了可測樣品的范圍。


6. 環(huán)境隔離與特殊樣品臺:
  • 隔振臺或主動隔振系統(tǒng):對于環(huán)境振動敏感的高精度測量,可以提供更好的穩(wěn)定性。


  • 溫控樣品臺:用于研究溫度變化對樣品表面形貌的影響,或在恒溫條件下進(jìn)行測量。


  • 真空或氣氛控制樣品室:用于測量在空氣中易氧化、潮解或需要特殊氣氛保護(hù)的樣品。


7. 專用分析軟件模塊:
除了標(biāo)準(zhǔn)分析包,可能還提供針對特定行業(yè)或應(yīng)用的高級分析模塊,例如:
  • 更復(fù)雜的形貌和紋理分析工具


  • 專用行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(如汽車、軸承行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))的自動報告生成


  • 與統(tǒng)計過程控制(SPC)軟件更深入的集成接口


這些擴(kuò)展功能并非標(biāo)準(zhǔn)配置,用戶在選型或后續(xù)升級時,可以根據(jù)自身的具體測量需求(如樣品尺寸、測量速度、特殊樣品特性、環(huán)境要求等)向供應(yīng)商咨詢,選擇適合的配件和軟件模塊,從而將共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2的應(yīng)用潛力進(jìn)一步拓展到更專業(yè)的領(lǐng)域。

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